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Design and fabrication of EUV/X-ray focusing systems
我们将根据客户的应用设计，制造和调整结合各种X射线光学元件的EUV（极紫外光刻）/ X射线光学系统。图左为球形聚光镜，图右为Schwarzschild收藏镜。
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· 设计和制造各种聚光光学系统/光学系统。
· Schwarzschild会聚光学器件
· KB反射镜
· 球形椭球聚光镜
· 用于高阶谐波的光学系统等。
