EUV滤光片

由于它是一款自立式EUV滤光片，因此具有出色的透光率和平整度。 另外，还有一个带有抗氧化膜的过滤器。 由于耐氧化性优异，因此与通常的过滤器相比，透过率的劣化小。

主要用途

· 将高次谐波从基波中分离出来；

· 去除不需要的波长，如同步辐射，等离子体X射线等；

· 预防等离子体X射线中的碎片；

· 真空窗，差压窗口

对应波长区

· 可以对应于每个极紫外线和软X射线波长区域。

· 近波长13.5nm（Zr过滤器）

· 近波长29.6nm（铝过滤器）

· 近波长61.5 nm（Sn滤光片）

支撑薄膜

· 它可以在各种支撑薄膜和支撑上形成；

· 聚合物膜支撑过滤器；

· 网格支撑滤器；

· SiN膜支撑滤器；

                                      聚合物膜支撑过滤器                                  网格支撑过滤器                                        膜支撑过滤器

其他种类

各种材料透射率的计算值（膜厚度：100nm）：

我们还设有层压膜过滤器，硬X射线过滤器等产品。