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EUV镜/软X射线镜

我们提供各种高品质的EUV(极紫外光刻)/ X射线聚焦镜产品。

镜片种类



· 镜面形状:平面,凸面,凹面,球面,圆柱面等

· 适用于各种波长的多层镜

· 各种单层薄膜(金属,碳化物,氧化物等)镜面

· 大型多层膜镜(最大可达φ300mm)

· 高耐热多层镜

※ 我们也可提供硬X射线相关产品。

产品实例

Mo / Si多层镜



· 这是一款可在13至30nm波长下使用的多层膜镜;
· 它能够反射,浓缩和分离EUV光, 多用于EUVL,X射线望远镜,X射线显微镜,等离子体诊断,高次谐波利用实验;
· 我们还制造耐热多层镜(具有阻挡层的多层膜),其间插入有中间层。
  (H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p. 169, Vol. 4, 1996)

X射线镜的示例性截面结构和X射线反射的结构视图


X射线镜的示例性截面结构和X射线反射的结构视图




 反射实际测量值(直接入射角:2度)



反射实际测量值(直接入射角:2度)

各种Mo / Si多层镜:


各种Mo / Si多层镜




各种Mo / Si多层镜




φ100毫米凹面镜:


φ100毫米凹面镜



φ12英寸平面镜:


φ12英寸平面镜



用于Schwarzschild光学系统的凹面镜:


用于Schwarzschild光学系统的凹面镜,凸面镜



分裂凹面镜:


分裂凹面镜






EUV镜


EUV宽带镜和EUV窄带镜




· EUV宽带反射镜是一种多层反射镜,可在比通常的多层薄膜更宽的波长范围内反射,并用于多个阶上的亮线反射。
· EUV窄带镜是具有比通常的多层膜窄的波长半值宽度的多层镜,并且它可以用于光谱测量等以选择特定的发射线。



反射实际测量值(入射角:垂直入射2度):





图例为EUV宽带球形多层反射器。 一个Mo / Si宽带多层膜在φ100mm的Zerodure基板上形成的图像:








EUV分级镜



· 这是一款多层膜镜,它具有可精确控制的周期长度,该周期长度对应于在基板表面内变化的入射角。 可以在整个基板表面上实现高反射率。

· 我们将在直径大于300毫米的弯曲基板上形成分级镜。

· 下面的图分别是形成在凹面镜上的EUV梯度Mo / Si多层膜的反射率评估的实例,以及入射角从直接入射0°变化到直入入射角10°图例。可以看出, 电路板设计使得在入射角处测量的反射峰非常均匀。







分级镜像结构的示例。 红色箭头代表光线。在基板中心附近,入射角是0度的直接入射角相应的多层膜周期长度短。随着直接入射角朝向基板边缘增加,多层膜周期长度变长:










掠入射镜/全反射镜



· 这款产品是用于EUV区域中的倾斜入射光学系统的全反射镜。
· 我们将在各种基材(平面,凸面,凹面,球面,非球面,圆柱面等)上形成金属,碳化物和氧化物。

反射实际测量实例(Ru单层涂层,入射波长13.5 nm):





反射实际测量实例(SiC单层涂层,入射角10度):








用于30nm波长的SiC / Mg多层镜




· 这款产品是用于波长约30nm的高反射多层膜。
  (H. Takenaka et. Al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147, (2005) 1043-1045)
·  它还可用于EUV光条件下的各种应用(空间观察,使用高次谐波的各种实验)。

反射实际测量实例(入射角:垂直入射2度):





φ1英寸凹面镜:








用于6nm波长的Cr / C&CoCr / C多层镜



· 这是一款在6nm波长附近使用的多层膜镜。
· 它被开发为用于会聚光学系统的多层镜,多用于显微光电子能谱。

  (H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p. 255, vol. 104, 2003)


反射实际测量实例(入射角:垂直入射2度):








其他实例


若您需要制作以下其他类型的各种多层镜和全反射镜,也请随时与我们联系。


多层薄膜范例 Co/C, CoCr/C, Cr/C, Fe/TiC, Fe/TiN, Mo/barrier/Si,Mo silicide/Si, Mo/B4C, Mo/BN, Mo/C, Ni/C, Ni/C/Ti, Ni/Ti, Pt/B4C, Pt/C, Ru/B4C, Ru/C, Ru/Si, Sc/Cr, W/BN, W/B4C, W/Si, W silicide/Si, W/SiC等.
单层镜范例 Ag, Au, Cr, Mo, Ni, Pt, Ru, SiC, Y2O3,等