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超高真空原位薄膜制备谱学系统
超高真空薄膜X射线谱学系统，可以在超高真空条件下开展薄膜相关的掠入射X射线谱学实验。该系统配备有样品中转存放台，样品可以在不暴露大气的情况下，利用真空手提箱或者真空进样腔室传递到样品中转存放台上。在测试室对薄膜样品进行掠入射硬X射线吸收/衍射/散射信号的测量。该系统配置一个高精度6自由度并联位移平台，可带动整个腔体相对X射线光束线的精密位置调整。
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六自由度并联平台参数
运 动 维 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ
X、Y 行程 ：±8mm、±8mm
Z 行程 ：±9mm
α、β行程 ：±3°
Ψ 行程 ：±5°
推进设备分辨率：1μm
X、Y运动精度：5μm
Z运动精度：3μm
X、Y重复运动精度：3μm
Z重复运动精度：2μm
α、β运动精度：0.069mrad
X、Y移动速度：1mm/s
Z移动速度：2mm/s
负载（水平）：100Kg
断电保持力：20Kg
质量：10.5Kg
尺寸（直径*高度）：390*310mm
特点
· 超高真空实验环境
· 样品变温测试环境（300K~1000K）
· XAFS实验（TEY全电子产额模式和PFY荧光产额模式可同时进行）
· GIXRD掠入射衍射实验
· 超高真空条件下样品传递
真空度
样品切光曲线
