特点

• 四个电机独立控制刀片

• 刀片平行度进行调教

• 方便安装

• 真空兼容

规则参数：

开口尺寸：20x20mm

刀片行程：±5mm

分辨率：0.15μm/step

定位精度：1μm

刀片材质：钼

尺寸：188x173x51mm

重量：1.7Kg