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六自由度位移平台
六自由度位移平台可实现 X、Y、Z、α、β、Ψ运动维度调节，可带动系统进行精密位置调整。该平 台设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小。
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参数：
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运 动 维 度 ：X、Y、Z、α、β、Ψ
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X、Y 行程：±10mm
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Z 行程: ±10mm
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X、Y 运动精度：5μm
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Z 运动精度：3μm
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α（绕X转动）角度：±5°
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β（绕Y转动）角度：±5°
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Ψ（绕Y转动）角度：±10°
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α、β转角精度：0.01°
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Ψ 转角精度：0.01°
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载重：平台水平安装可承重 15kg、平台竖直安装可承重 10kg
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尺寸（直径*高度）：390mm*310mm