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超高真空薄膜X射线谱学系统

该系统可以在超高真空条件下开展薄膜相关的掠入射X射线 谱学实验。该系统配备有样品中转存放台，样品可以在不暴露大气 的情况下，利用真空手提箱或者真空进样腔室传递到样品中转存放 台上。在测试室对薄膜样品进行掠入射硬X射线吸收/衍射/散射信号 的测量。该系统配置一个高精度六自由度并联位移平台，可带动整个 腔体相对X射线光束线的精密位置调整。

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