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脉冲激光沉积腔体系统

脉冲激光沉积腔体系统（PLD系统）是一个基于不锈钢圆形腔 室的真空设备。该腔室多个法兰口可安装实验配件，包括RHEED、 发射光谱、高温测定、薄膜沉积晶振等，实现对薄膜生长速率的控 制。该设备主要包括真空系统、磁耦合转靶机构，高温加热伸缩机 构。

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