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X射线光电子能谱仪 YY-XPS-EN1
YY-XPS-EN1是一款可扩展且经过优化的多技术分析仪器，具有出色的灵活性和可配置性。该系统可精准解析材料表面化学成分、元素价态和深度分布信息，在XPS成像及高分辨率谱学分析方面均表现出色。标准配置包含XPS、REELS技术，并可选配ISS、UPS、样品转移仓等模块。
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产品特点：
1.高灵敏度能谱
2.小面积XPS
3.深度剖析能力
4.角分辨XPS
5.丰富的样品制备及扩展选件
功能特色：
1.多通道电子探测器
2.半球分析器
3.微聚焦单色源
4.元素化学成像分析
5.高效离子源
标准配置：
1.单色X射线源
微聚焦 Al Kα 光源，或可选微聚焦、自动切换的双阳极 Al Kα 光源
●电子枪功率：≤350 W
●X-ray能量：1486.7 eV @ Al Kα
X射线聚焦束班：7档，分别为200,250,300,400,500,650和900μm
2.分析仪
180°半球形分析器，配备光谱和成像的双检测器系统
●极限能量分辨率：≤0.43 eV @Ag3d5/2
●信号灵敏度：≥950,000 cps @ Ag 3d5/2（FWHM≤0.43 eV）
3.离子源
双模式离子源（包含单原子模式、团簇模式）
●离子能量：0-8 keV
4.真空系统
●分析室真空：≤4.5E-10 mbar
●进样室和样品制备真空：≤6.7E-9 mbar
5.样品台
●三轴位移台
6.光学组件
●光学分辨率：≤10μm
●视场大小：≥3mm*4mm
7.中和枪
同时具有电子和离子中和能力的双束中和源
●中和区间：≥2mm*2mm
8.标准分析技术
●X射线光电子能谱 (XPS)
●反射电子能量损失谱 (REELS)
可选配：
1.离子散射谱（ISS）
能量分辨率和灵敏度：在 1 keV He离子作用于清洁金表面，能量分辨≤12eV 时，灵敏度≥25,000 cps/nA
2.紫外光电子能谱（UPS）
高通量紫外光源
3.真空手提箱
●主体材质：TC4钛合金
●传样距离：500mm
●极限真空：2E-10 mbar
●储存样品数：4个
●VAT阀：CF35插板阀
4.宽束离子源
大束斑氩离子溅射源，专用于大面积均匀表面清洁及深层剖面分析
5.气氛保护原位传递仓
专用的样品传递装置，其能够在手套箱内将样品在惰性气氛保护下密封起来，防止样品在传递过程中受到大气中的水和氧气影响。
6.高低温电池样品托
●最高电压24VDC，最大电流1A
●N型测温热电偶
●装载样品尺寸：长10mm 宽4mm 厚4mm
●加热温度范围：室温到800℃
●液氮样品制冷系统：室温至-50℃
●PID温度控制器，控温精度0.1℃
●最大工作压力：3MPa
7.高温高压原位反应池
该设备主要由反应仓、传样杆和电器柜三部分组成，具备混气、可变压力充气、加热、传样等功能。反应仓通过真空法兰与XPS系统连接，为系统提供与实验气体完成反应的测试样品。