镜片种类

· 镜面形状：平面，凸面，凹面，球面，圆柱面等

· 适用于各种波长的多层镜

· 各种单层薄膜（金属，碳化物，氧化物等）镜面

· 大型多层膜镜（最大可达φ300mm）

· 高耐热多层镜

※ 我们也可提供硬X射线相关产品。

产品实例

Mo / Si多层镜

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· 这是一款可在13至30nm波长下使用的多层膜镜；
· 它能够反射，浓缩和分离EUV光， 多用于EUVL，X射线望远镜，X射线显微镜，等离子体诊断，高次谐波利用等实验；
· 我们还制造耐热多层镜（具有阻挡层的多层膜），其间插入有中间层。
  (H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p. 169, Vol. 4, 1996)

X射线镜的示例性截面结构和X射线反射的结构视图：

 反射实际测量值（直接入射角：2度）：

各种Mo / Si多层镜：

φ100毫米凹面镜：

φ12英寸平面镜：

用于Schwarzschild光学系统的凹面镜：

分裂凹面镜：

EUV镜

EUV宽带镜和EUV窄带镜

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· EUV宽带反射镜是一种多层反射镜，可在比通常的多层薄膜更宽的波长范围内反射，并用于多个阶上的亮线反射。
· EUV窄带镜是具有比通常的多层膜窄的波长半值宽度的多层镜，并且它可以用于光谱测量等以选择特定的发射线。

反射实际测量值（入射角：垂直入射2度）：

图例为EUV宽带球形多层反射器。 一个Mo / Si宽带多层膜在φ100mm的Zerodure基板上形成的图像：

EUV分级镜

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· 这是一款多层膜镜，它具有可精确控制的周期长度，该周期长度对应于在基板表面内变化的入射角。 可以在整个基板表面上实现高反射率。

· 我们将在直径大于300毫米的弯曲基板上形成分级镜。

· 下面的图分别是形成在凹面镜上的EUV梯度Mo / Si多层膜的反射率评估的实例，以及入射角从直接入射0°变化到直入入射角10°图例。可以看出， 电路板设计使得在入射角处测量的反射峰非常均匀。

分级镜像结构的示例。 红色箭头代表光线。在基板中心附近，入射角是0度的直接入射角相应的多层膜周期长度短。随着直接入射角朝向基板边缘增加，多层膜周期长度变长：

掠入射镜/全反射镜

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· 这款产品是用于EUV区域中的倾斜入射光学系统的全反射镜。
· 我们将在各种基材（平面，凸面，凹面，球面，非球面，圆柱面等）上形成金属，碳化物和氧化物。

反射实际测量实例（Ru单层涂层，入射波长13.5 nm）：

反射实际测量实例（SiC单层涂层，入射角10度）：

用于30nm波长的SiC / Mg多层镜

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· 这款产品是用于波长约30nm的高反射多层膜。
  (H. Takenaka et. Al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147, (2005) 1043-1045)
·  它还可用于EUV光条件下的各种应用（空间观察，使用高次谐波的各种实验）。

反射实际测量实例（入射角：垂直入射2度）：

φ1英寸凹面镜：

用于6nm波长的Cr / C＆CoCr / C多层镜

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· 这是一款在6nm波长附近使用的多层膜镜。
· 它被开发为用于会聚光学系统的多层镜，多用于显微光电子能谱。

  (H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p. 255, vol. 104, 2003)

反射实际测量实例（入射角：垂直入射2度）：

其他实例

若您需要制作以下其他类型的各种多层镜和全反射镜，也请随时与我们联系。

多层薄膜范例	Co/C, CoCr/C, Cr/C, Fe/TiC, Fe/TiN, Mo/barrier/Si,Mo silicide/Si, Mo/B4C, Mo/BN, Mo/C, Ni/C, Ni/C/Ti, Ni/Ti, Pt/B4C, Pt/C, Ru/B4C, Ru/C, Ru/Si, Sc/Cr, W/BN, W/B4C, W/Si, W silicide/Si, W/SiC等.
单层镜范例	Ag, Au, Cr, Mo, Ni, Pt, Ru, SiC, Y2O3,等