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真空镀膜设备自动传递系统

该系统用于为真空镀膜工艺腔批量性传递镀膜基片，使得工艺腔保持中真空以上的真空度，节省了抽真空时间，大大提高了生产效率。可实现上片-传递-工艺镀膜-换片单步骤的自动化生产。

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