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四刀狭缝(可订制)
四个电机独立控制刀片 刀片平行度进行调教 方便安装 真空兼容
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特点
- 四个电机独立控制刀片
- 刀片平行度进行调教
- 方便安装
- 真空兼容
规则参数:
开口尺寸:20x20mm
刀片行程:±5mm
分辨率:0.15μm/step
定位精度:1μm
刀片材质:钼
尺寸:188x173x51mm
重量:1.7Kg