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该装置主体结构包括制冷机系统、真空腔、防 辐射屏及样品台等,搭配柔性波纹管和减震垫可实 现样品处微米级低振动,该恒温器可配合精密位移 平台进行整体结构三维空间上高精度、大量程的移 动,实现样品不同位置测量的需求,定位精度最高 可达0.01mm。