应用领域：

试样表面碳污染处理，腔体内壁面清洁，材料表面溅射处理。

作用机理：

(1)物理清洁：为离子轰击，清洁强度取决于离子动能。该设备可以使用多种实验气体，比如氧气、氩气、氮气，其中氩气的分子量大，电离后产生的颗粒比较重，在电场的作用下氩离子的动能明显高于其他活性气体，其活化效果更显著，清洁作用更强。

(2)化学清洁：氧气充入后产生电离反应，带有化学活性的氧离子可以对表面的污染物进行反应，达到清洁作用。

参数：

材质：不锈钢
供电电压： AC220V
功率： 整机功率不超过150W

工作气压： 5~50Pa
安装接口规格： DN35CF刀口法兰

系统漏率： 5X10^-11Pa*M³/S

可烘烤温度：120°C

微波等离子源通气实拍

氧气：

氩气：

氮气：